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| 英文名稱： | Indium-tin oxide target | ||||||||||
| 版本： | 標準狀態： | 現行 | |||||||||
| 中國標準分類 (CNS)： |
【H62】 | 國際標準分類 (ICS)： |
【77.150.60】 | ||||||||
| 發布日期： | 2006-09-26 | ||||||||||
| 實施日期： | 2007-02-01 | 頁數： | 9 | ||||||||
| 廢止日期： | |||||||||||
| 適用范圍： | 本標準規定了氧化銦錫（簡稱ITO）靶材的要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。 本標準適用于氧化銦錫靶材。 |
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